| 聚焦离子束系统 | |||
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| 1500元 | |||
| 3个工作日 | |||
| 中科院上海微系统所 | 高校/研究院所 | ||
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聚焦离子束系统（Quanta3DFEG600）
美国FEI公司
主要用于样品的成像观察和小尺寸的显微切割、选择性的材料蒸镀等
主要技术指标
1、电子束分辨率：高真空模式30kv 时 1.2nm，放大倍数 30x ~ 1280kx。
2、离子束分辨率：30kv 时 7 nm，放大倍数 40x ~ 1280kx。
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